特氣管路五項測試包括保壓測試、氦檢漏測試、顆粒含量測試、水分含量測試和氧含量測試。

這些測試旨在評估管道的密封性、氣體純度及系統穩定性，確保其符合設計規范和安全標準。  

 1. 保壓測試  

目的：檢測管道系統在高壓條件下的密封性，確保無泄漏點。  

方法：  

 將管道系統加壓至設計壓力的1.15倍，保持24小時。  

 觀察壓力表，記錄壓降情況。若壓降超過允許范圍（通常≤1%），需排查漏點并重新測試。  

工具：壓力表、記錄器。  

注意事項：測試過程中需考慮溫度變化對壓力的影響，并進行修正計算。  

 2. 氦檢漏測試  

目的：檢測微小漏點，確保管道系統的氣密性。  

方法：  

 使用氦質譜檢漏儀，將管道抽至真空狀態。  

 在焊道和接頭處噴吹氦氣，觀察檢漏儀讀數。漏率通常要求≤1×10?? cc.atm/sec。  

工具：氦質譜檢漏儀。  

注意事項：測試完成后需對管道進行充壓，防止負壓吸入雜質。  

 3. 顆粒含量測試  

目的：檢測管道內顆粒物的數量和大小，確保氣體純度。  

方法：  

 使用顆粒計數器，通過激光照射氣體樣本，統計顆粒數量。  

 測試標準通常為0.1μm顆粒≤5個，更大顆粒為0。  

工具：顆粒計數器。  

注意事項：測試前需對管道進行長時間吹掃，確保無殘留顆粒。  

 4. 水分含量測試  

目的：檢測管道內水分的含量，防止水分對氣體質量的影響。  

方法：  

 使用水分分析儀，通過吹掃氣體并測量水分濃度。  

 測試標準通常為≤10ppb。  

工具：水分分析儀。  

注意事項：測試前需對管道進行長時間吹掃，確保無殘留水分。  

 5. 氧含量測試  

目的：檢測管道內氧氣的含量，防止氧氣對氣體質量和設備的影響。  

方法：  

 使用氧分儀，測量氣體中的氧氣濃度。  

 測試標準通常為≤10ppb。  

工具：氧分儀。  

注意事項：測試前需確保氣體源和管道系統的清潔度。  

 五項測試的重要性  

1. 保障安全：通過保壓和氦檢漏測試，確保管道系統無泄漏，防止氣體泄漏引發的安全事故。  

2. 提高氣體質量：顆粒、水分和氧含量測試確保氣體純度，滿足高精度生產工藝的需求。  

3. 延長設備壽命：通過控制氧氣和水分含量，防止管道腐蝕和設備損壞。  

4. 符合行業標準：五項測試是半導體、化工等行業的強制性要求，確保管道系統符合國際標準。