特氣管路五項(xiàng)測(cè)試包括保壓測(cè)試、氦檢漏測(cè)試、顆粒含量測(cè)試、水分含量測(cè)試和氧含量測(cè)試。

這些測(cè)試旨在評(píng)估管道的密封性、氣體純度及系統(tǒng)穩(wěn)定性，確保其符合設(shè)計(jì)規(guī)范和安全標(biāo)準(zhǔn)。  

 1. 保壓測(cè)試  

目的：檢測(cè)管道系統(tǒng)在高壓條件下的密封性，確保無(wú)泄漏點(diǎn)。  

方法：  

 將管道系統(tǒng)加壓至設(shè)計(jì)壓力的1.15倍，保持24小時(shí)。  

 觀察壓力表，記錄壓降情況。若壓降超過(guò)允許范圍（通常≤1%），需排查漏點(diǎn)并重新測(cè)試。  

工具：壓力表、記錄器。  

注意事項(xiàng)：測(cè)試過(guò)程中需考慮溫度變化對(duì)壓力的影響，并進(jìn)行修正計(jì)算。  

 2. 氦檢漏測(cè)試  

目的：檢測(cè)微小漏點(diǎn)，確保管道系統(tǒng)的氣密性。  

方法：  

 使用氦質(zhì)譜檢漏儀，將管道抽至真空狀態(tài)。  

 在焊道和接頭處噴吹氦氣，觀察檢漏儀讀數(shù)。漏率通常要求≤1×10?? cc.atm/sec。  

工具：氦質(zhì)譜檢漏儀。  

注意事項(xiàng)：測(cè)試完成后需對(duì)管道進(jìn)行充壓，防止負(fù)壓吸入雜質(zhì)。  

 3. 顆粒含量測(cè)試  

目的：檢測(cè)管道內(nèi)顆粒物的數(shù)量和大小，確保氣體純度。  

方法：  

 使用顆粒計(jì)數(shù)器，通過(guò)激光照射氣體樣本，統(tǒng)計(jì)顆粒數(shù)量。  

 測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)通常為0.1μm顆粒≤5個(gè)，更大顆粒為0。  

工具：顆粒計(jì)數(shù)器。  

注意事項(xiàng)：測(cè)試前需對(duì)管道進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間吹掃，確保無(wú)殘留顆粒。  

 4. 水分含量測(cè)試  

目的：檢測(cè)管道內(nèi)水分的含量，防止水分對(duì)氣體質(zhì)量的影響。  

方法：  

 使用水分分析儀，通過(guò)吹掃氣體并測(cè)量水分濃度。  

 測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)通常為≤10ppb。  

工具：水分分析儀。  

注意事項(xiàng)：測(cè)試前需對(duì)管道進(jìn)行長(zhǎng)時(shí)間吹掃，確保無(wú)殘留水分。  

 5. 氧含量測(cè)試  

目的：檢測(cè)管道內(nèi)氧氣的含量，防止氧氣對(duì)氣體質(zhì)量和設(shè)備的影響。  

方法：  

 使用氧分儀，測(cè)量氣體中的氧氣濃度。  

 測(cè)試標(biāo)準(zhǔn)通常為≤10ppb。  

工具：氧分儀。  

注意事項(xiàng)：測(cè)試前需確保氣體源和管道系統(tǒng)的清潔度。  

 五項(xiàng)測(cè)試的重要性  

1. 保障安全：通過(guò)保壓和氦檢漏測(cè)試，確保管道系統(tǒng)無(wú)泄漏，防止氣體泄漏引發(fā)的安全事故。  

2. 提高氣體質(zhì)量：顆粒、水分和氧含量測(cè)試確保氣體純度，滿足高精度生產(chǎn)工藝的需求。  

3. 延長(zhǎng)設(shè)備壽命：通過(guò)控制氧氣和水分含量，防止管道腐蝕和設(shè)備損壞。  

4. 符合行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)：五項(xiàng)測(cè)試是半導(dǎo)體、化工等行業(yè)的強(qiáng)制性要求，確保管道系統(tǒng)符合國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。