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氦質譜檢漏原理及方法

2025-04-16

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 一、檢漏的重要性

密封性是眾多產品和設備的關鍵指標之一,特別是在需要維持特定壓力或真空環境的情況下。無論是防止空氣進入工作腔體的真空設備,還是確保液體或氣體不會從容器中泄漏出來的存儲裝置,良好的密封性能都是必不可少的。

因此,在使用前及使用過程中定期進行檢漏檢查顯得尤為重要。

 二、泄漏程度量化

泄漏程度通常通過單位時間內壓強變化來衡量。例如,自行車輪胎在一個月內從3 bar降至2 bar,以及冰箱一年內制冷劑泄漏10克等實例,說明了不同應用場景下的泄漏情況及其可能帶來的影響。

 三、氦質譜檢漏的工作原理

氦質譜檢漏基于質譜學原理,利用氦氣作為示蹤氣體檢測泄露。其核心在于通過電離氦原子并測量其在磁場中的偏轉軌跡,從而精確識別氦的存在。這種方法依賴于燈絲發射電子碰撞氦原子使其離子化,并根據離子在磁場中的運動特性進行分析。

 四、氦質譜檢漏的檢漏方式

氦質譜檢漏提供多種檢漏方式,包括但不限于吸槍法、真空箱法、背壓法和真空噴氦法等,適用于不同場景下的檢測需求。其中,逆擴散檢漏技術允許檢測更高內部壓力的被測件,適合大型容器或存在較大泄漏點的情況。

 吸槍法:用于定位具體漏點。

 真空箱法:評估總漏率,不指定具體漏點位置。

 背壓法:主要用于電子元器件的密封性測試。

 真空噴氦法:直接對工件抽真空后噴氦檢測。

 五、選擇示蹤氣體的標準

理想的示蹤氣體應無害、輕便、惰性且不易與其他物質反應,同時在大氣中含量極低。氦氣因其優異的物理化學性質成為首選示蹤氣體,盡管氫氣也是可行的選擇,但由于安全考慮,實際應用中更傾向于使用氦氣。


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